操作程序编辑三：

? 旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。? 旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。? 旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。? 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。? 当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。? 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔）。? 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。

十一、 真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜设备的操作参照该设备说明书和真空镀膜机上各旋钮下的标注说明以及仪表盘指针显示。大体情况如下:

    1.检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在'关'位置。

    2.打开总电源开关，真空镀膜设备送电。

    3.低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

    4.安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

    5.落下钟罩。

    6.启动真空镀膜设备抽真空机械泵。

    7.开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。

    8.当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

    9.真空镀膜设备开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

    10.低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。

主要分类主要分类有两个大种类：

 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜，具体则包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，溶胶凝胶法等等 。一、对于蒸发镀膜：一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于：1。基片材料与靶材的晶格匹配程度2、基片表面温度3. 蒸发功率，速率4. 真空度5. 镀膜时间，厚度大小。