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安全操作规程：

3.1.1员工着穿整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高

跟鞋；

3.1.2检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示

检查各螺钉处连接是否牢固，

电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否

良好；所有电器的开关置在零或者“关”的

位置上；

3.1.4检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；

3.1.5检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；

3.1.6设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

3.1.7设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

3.1.8设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；

3.1.9扩散泵加热时，避免人身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤；

3.2.1工件旋转时，

禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业；

DEF-6B操作

1. 总电源。2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

关机顺序

1. 关高真空表头、关分子泵。2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。3. 到50以下时，再关维持泵。

安全操作规程：

3.1.1员工着穿整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高

跟鞋；

3.1.2检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示

检查各螺钉处连接是否牢固，

电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否

良好；所有电器的开关置在零或者“关”的

位置上；

3.1.4检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；

3.1.5检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；

3.1.6设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

3.1.7设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

3.1.8设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；

3.1.9扩散泵加热时，避免人身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤；

3.2.1工件旋转时，

禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业；