电控柜操作1. 开水泵、气源。2. 开总电源。3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源

安全操作规程：

3.1.1员工着穿整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高

跟鞋；

3.1.2检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示

检查各螺钉处连接是否牢固，

电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否

良好；所有电器的开关置在零或者“关”的

位置上；

3.1.4检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；

3.1.5检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；

3.1.6设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

3.1.7设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

3.1.8设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；

3.1.9扩散泵加热时，避免人身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤；

3.2.1工件旋转时，

禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业；

操作程序编辑二：

a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮'1'旋转至指向2区段测量位置。⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。⑨ 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。? 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。